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    电子束与离子束加工技术

    来源: 南方日报网络版     时间: 2019-12-12 22:40:33
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    电子束加工和离子束加工是近年来得到较大发展的新型特种加工。他们在精密微细加工方面,尤其是在微电子学领域中得到较多的应用。通常来说,电子束加工主要用于打孔、焊接等热加工和电子束光刻化学加工,而离子束加工则主要用于离子刻蚀、离子镀膜和离子注入等加工。

    电子束加工原理

    电子束加工(Electron Beam Machining 简称EBM)起源于德国。1948年德国科学家斯特格瓦发明了第一台电子束加工设备。它是一种利用高能量密度的电子束对材料进行工艺处理的方法统称。

    在真空条件下,利用电子枪中产生的电子经加速、聚焦后能量密度为106~109w/cm2的极细束流高速冲击到工件表面上极小的部位,并在几分之一微秒时间内,其能量大部分转换为热能,使工件被冲击部位的材料达到几千摄氏度,致使材料局部熔化或蒸发,来去除材料。

    控制电子束能量密度的大小和能量注入时间,就可以达到不同的加工目的:

    1、只使材料局部加热就可进行电子束热处理;

    2、使材料局部熔化就可以进行电子束焊接;

    3、提高电子束能量密度,使材料熔化和汽化,就可进行打孔、切割等加工;

    4、利用较低能量密度的电子束轰击高分子材料时产生化学变化的原理,即可进行电子束光刻加工。

    电子束主要加工装置

    电子束加工装置主要由以下几部分组成:

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